MueTec的掩膜檢測使用的是Die-to-Die的方法,檢測掩膜上統計類型的缺陷。該系統用于監視在功率半導體、LED和MEMS領域中的晶圓制造使用的掩膜

MueTec的系統可幫助客戶確定掩膜狀態,是否良好,是否需要清潔或更換。


PRODUCTS
  • Spector
    封閉式自動檢測系統
    Spector

    典型應用

    掩膜缺陷檢測


    主要特點

    全封閉式系統

    最多可支持2個吊艙或盒式工作站

    基于Die-to-Die的自動檢測

    分辨率最高可達0.5μm

    最大可支持掩膜尺寸為14英寸

  • Spector A
    開放式自動檢測系統
    Spector A

    典型應用

    掩膜缺陷檢測


    特征

    開放式系統

    機械手掩膜搬運

    全自動掩膜檢測

    基于Die-to-Die的自動檢測

    分辨率最高可達0.5μm

    最大可支持掩膜尺寸為14英寸



  • Spector M
    開放式半自動檢測系統
    Spector M

    典型應用

    掩膜缺陷檢測


    特征

    開放式系統

    手動掩膜裝卸

    全自動掩膜檢測

    基于Die-to-Die的自動檢測

    分辨率最高可達0.5μm

    最大可支持掩膜尺寸為14英寸



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